滚珠丝杠

滚珠丝杠

超高真空定位


奥古斯特·斯坦迈尔开发了用于超高真空的滚珠丝杠。


它们用于一系列通用的线性载物台，用于具有30 nm分辨率的新型成像方法。这需要多个定位系统来实现10 nm的极高静止稳定性。滚珠丝杠使定位技术特别稳定和精确 - 取决于设计，也快速耐用。这些系统在保罗·谢雷尔研究所（PSI）使用。该技术涵盖了从研究到医疗技术和半导体技术的广泛应用。

滚珠丝杠
用于超高真空©应用的滚珠丝杠 奥古斯特·斯坦迈耶
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直线平台的一个重要部件是一个特殊的滚珠丝杠，其干燥速度可达50 mm/s，使用寿命可达5 km。使用超高真空润滑剂时，可实现的使用寿命可延长至 100 公里。在高达 10-6 mbar 的较高分压下，由于该系列具有更好的润滑剂和更耐用的材料，因此可以在真空中实现数 1，000 km 的距离。使用陶瓷球，滚道涂层，特殊的螺纹研磨工艺和优化的挠度，即使没有润滑，滚珠丝杠也可以实现良好的运行性能。